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CLEAN FLOW SYSTEM
クリーン ローダ・アンローダ
Clean Loader Unloader
クリーンバッファ
Clean Buffer
クリーンロボット
Clean Robot
第5世代液晶基板対応ロボット
第6・第7世代液晶基板対応ロボット
Clean Exchanger
クリーンエクスチェンジャ
Scissor Lifts
シザーリフト
Conveyor System
コンベア・システム
CLEAN FLOW SYSTEM (クリーンフローシステム)
メイキコウのクリーンフローシステムは、液晶パネル(LCD)や半導体ウエーハの製造工程におけるクリーンルーム内のハンドリングシステムおよび搬送システムです。弊社オリジナル製品クリーンロボットを中核とした液晶パネル用ローダ・アンローダ、半導体ウエーハ用EFEM 、ロードポートを設計・製作しています。クリーンロボットの清浄度は、LCD用でクラス10(0.1μm)、半導体ウエーハ用クラス1(0.1μm)を実現。クリーンルーム内の搬送、ハンドリングを手掛けて20年、ユーザの厚い信頼をいただいております。
クリーン度は、クラス10、カセットと装置間の液晶パネルのハンドリングはクリーンロボットで行います。

システムを構成するコンポーネント

クリーン ローダ・アンローダ
Clean Loader Unloader

クリーンバッファ
Clean Buffer

クリーンロボット
Clean Robot

Clean Exchanger
クリーンエクスチェンジャー


※クリーンフローシステムに関する詳しい内容につきましては、お手数ですが下記までお問合せください。
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