クリーンフローシステム | クリーンロボット | 株式会社メイキコウ

株式会社メイキコウ | MEIKIKOU

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CLEAN FLOW SYSTEM
クリーン ローダ・アンローダ
Clean Loader Unloader
クリーンバッファ
Clean Buffer
クリーンロボット
Clean Robot
第5世代液晶基板対応ロボット
第6・第7世代液晶基板対応ロボット
Clean Exchanger
クリーンエクスチェンジャ
Scissor Lifts
シザーリフト
Conveyor System
コンベア・システム
クリーンロボット

液晶基板・半導体ウエーハ
メイキコウの クリーンロボットの清浄度はクラス10(液晶パネル) & クラス1(ウエーハ)、究極のハンドリングを実現しています。クリーンロボットは、X軸に多関節機構を採用した3軸および4軸のロボットです。クリーンルーム内の製造工程、検査工程における装置間およびカセット装置間の半導体ウエーハ・液晶パネルのハンドリングをEFEM、クリーン ローダ、アンローダ、クリーンストッカ等に組み込んで行います。

クリーン ローダ・アンローダ (液晶基板)クリーン ローダ・アンローダ(液晶基板) EFEM (半導体ウエーハ)
EFEM (半導体ウエーハ)
液晶基板対応ロボット ウエーハ対応ロボット
3000シリーズ 2000シリーズ 1500シリーズ 1200シリーズ 515・525シリーズ
3000シリーズ 2000シリーズ 1500シリーズ 1200シリーズ ウエーハ対応ロボット | 515・525シリーズ
MCR3-4A3000T
第6・7世代液晶基板
対応ロボット
MCR3-3C2000
第5世代液晶基板
対応ロボット
MCR3-3A1500T-DZ
円筒座標系ロボット
MCR3-3A1200T
円筒座標系ロボット
MCR2-3A515T
円筒座標系ロボット

シリーズ 型式 アームタイプ 参考搬送物
サイズ
(ガラス基板)
X軸
ストローク
(mm)
θ軸
ストローク
(degree)
Z軸
ストローク
(max/mm)
3000
Series
MCR3-4A3000T ツインアーム 1800×2100 3000 330 1800
MCR3-4A3000 シングルアーム 1800×2100 3000 330 1800
2000
Series
MCR3-4C2000T ツインアーム 1100×1250 2000 330 1800
MCR3-4C2000 シングルアーム 1100×1250 2000 330 1800
1500
Series
MCR3-3A1500T-DZ ツインアーム 850×950 1500 330 1100
MCR3-3A1500T ツインアーム 850×950 1500 330 500
MCR3-3A1500-DZ シングルアーム 850×950 1500 330 1100
MCR3-3A1500 シングルアーム 850×950 1500 330 500
1200
Series
MCR3-3A1200T ツインアーム 600×720 1200 330 750
MCR3-3A1200-DZ シングルアーム 600×720 1200 330 1100
MCR3-3A1200 シングルアーム 600×720 1200 330 750

シリーズ 型式 アームタイプ 参考搬送物
サイズ
(ウェーハ)
X軸
ストローク
(mm)
θ軸
ストローク
(degree)
Z軸
ストローク
(max/mm)
515
Series
MCR3-3A515T-DZ ツインアーム 300mm 515 330 1000
MCR3-3A515T ツインアーム 300mm 515 330 300
525
Series
MCR3-3A525-DZ シングルアーム 300mm 525 330 1000
MCR3-3A525 シングルアーム 300mm 525 330 300

クリーンロボットの特長
クリーン度 / 液晶:クラス10 (0.1μm)・ウエーハ:クラス1 (0.1μm)
X軸関節部に磁性流体シールを採用、パーティクルフリーを実現しています。
液晶・半導体製造工程のハンドリングに最適です。

スリムなボディで、スムーズな搬送を実現
軸にACサーボモータを使用しているためスムーズな搬送を実現しています。また、サーボドライバを組み込んだ小型コントローラにより、制御機器の省スペース化をはかっています。

調整が容易なペンダント形ティーチングBOX採用
ロボットのティーチング作業は、ペンダント形ティーチングBOXで行いますので、ロボットを動かしながら、調整を容易に行うことができます。

X軸アーム内にケーブルを内蔵
ハンドリング部への配線、配管は、アーム内部を経路としており、エア1系統、電気2系統を標準装置しています。



ロボット制御システム
・コントローラは、パラレルインターフェイス・シリアルインターフェイスの両方に対応可能です。
・各軸分散制御により、省配線化を図りました。
・全軸にACサーボモータを使用し、S字加減速で高速化を実現します。
・位置補正(ノンコンタクト アライメント)、マッピング等、各種機能も充実しています。

※第六・第七世代液晶基板対応新型クリーンロボットに関する詳しい内容につきましては、お手数ですが下記までお問合せください。
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