| CLEAN FLOW SYSTEM
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| CLEAN FLOW SYSTEM （クリーンフローシステム） |
| メイキコウのクリーンフローシステムは、液晶パネル（LCD）や半導体ウエーハの製造工程におけるクリーンルーム内のハンドリングシステムおよび搬送システムです。弊社オリジナル製品クリーンロボットを中核とした液晶パネル用ローダ・アンローダ、半導体ウエーハ用EFEM 、ロードポートを設計・製作しています。クリーンロボットの清浄度は、LCD用でクラス10(0.1μｍ)、半導体ウエーハ用クラス1(0.1μｍ)を実現。クリーンルーム内の搬送、ハンドリングを手掛けて20年、ユーザの厚い信頼をいただいております。 |
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クリーン度は、クラス10、カセットと装置間の液晶パネルのハンドリングはクリーンロボットで行います。 |
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| システムを構成するコンポーネント |
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ウェーハをキャリアから取り出し、装置へハンドリングするシステムです。ウェーハのハンドリングはクリーンロボットで行います。
クリーン度：クラス1 |
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| システムを構成するコンポーネント |
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| ※クリーンフローシステムに関する詳しい内容につきましては、お手数ですが下記までお問合せください。 |
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