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CLEAN FLOW SYSTEM
クリーン ローダ・アンローダ
Clean Loader Unloader
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コンベア・システム
クリーンローダ・アンローダ

クリーンフローシステム  液晶基板用  ローダ・アンローダ
Clean Loader Unloader Buffer
クリーンルーム内の製造工程におけるクリーン カセットと装置間の投入取り出しを行うローダ、アンローダです。移載用クリーンロボット1台で 2 〜 4 のカセットに硝子基板を投入、搬出させます。 カセットの投入、取出しはクリーンAGVおよびRGVで行います。カセットサイズを自動判別しますので、多品種に対応することができます。また本体上部にクリーンブースを設置しています。

特長
  • クリーンロボット及びクリーンブースの使用でクリーン度 「クラス10/0.1μm 」 を確保しています。
  • 3台のカセットが設置されていますので硝子基板収納数が多いのも特長です。
  • ローダ、アンローダの動作をカセット内の満杯、空検出により順次ローテーションします。
  • カセットの投入、取出しはクリーンAGVおよびRGV対応のため、無人運転が可能です。
  • カセットサイズ、基板サイズの自動判別機構により段取替えが必要なく、多品種に対応可能です。
  • 光学補正機構を備えています。
制御関係の特長
  • カセット位置ズレ補正 (カセットアライメント)
  • 基板位置ズレ補正(基板アライメント)
  • 基板在席確認センサー(マッピングセンサー)
  • CIM通信対応
  • CIMブロックコントローラ
参考図
7G size 3Port Loader / Unloader / Buffer
7G size 3Port
Loader / Unloader / Buffer
5G size 3Port Loader / Unloader / Buffer
5G size 3Port
Loader / Unloader / Buffer
※図中の寸法は参考値です

液晶基板のハンドリングはクリーンロボットで行います
第7世代液晶基板用ロボット第7世代液晶基板用ロボット 第5世代液晶基板用ロボット第5世代液晶基板用ロボット

※液晶基板用クリーンローダ・アンローダに関する詳しい内容につきましては、お手数ですが下記までお問合せください。
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