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CLEAN FLOW SYSTEM
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  クリーンフローシステム  液晶基板用  ローダ・アンローダ
Clean Exchanger
液晶基板の製造工程における8G〜10Gのガラスに対応する 「ローダ・アンローダ」です。クリーン カセット(ワイヤーカセット)からガラスを取り出し、プロセス装置ラインに搬送する装置です。ローダモードとアンローダモードのいずれにも対応可能です。搬送および移載については、エア浮上式を採用し、高速搬送にも対応しています。

特長
●エア浮上式を採用しています。大板ガラス全体をエアにより浮上させ両サイドのホイールにより推進させます。これにより、ガラスの搬送面における機器の接触面を極力避けることができ、製品の品質の向上につながります。
●高速搬送に対応 : max 600mm/sec

「クリーンエクスチェンジャ」 レイアウト例 (平面図)
エクスチェンジャ レイアウト例 (平面図)

※クリーンフローシステムに関する詳しい内容につきましては、お手数ですが下記までお問合せください。
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