クリーンフローシステム導入事例

清浄度ISO14644-1クラス4（米国連邦規格クラス10相当）の液晶、有機ELパネル搬送・移載装置を手がけてきたノウハウを活かし、
二次電池や各種検査装置などの搬送・ハンドリング装置を設計製作しています。

クリーンフローシステム導入事例

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  ガラス基板用カセットステーション（ローダ・アンローダ）

  水平多関節ロボットをクリーン搬送装置へ組み込んだ例。スマホ、タブレット端末等に使用されているフラットパネルディスプレイの製造ラインで弊社製搬送装置が採用されています。

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  FPD 搬送装置

  液晶パネル製造工程、有機ELパネル製造工程では、0.5mm前後の薄板ガラスにダメージを与えないデリケートな搬送が必要となります。そこで水平搬送機構、移載機構のほか、位置決め機構、旋回機構、表裏反転機構、リフトアップ機構、ワーク位置補正機構等、さまざまな技術要素を駆使し、各工程間搬送を実現しています。ワークに印刷された2次元コードの読み取り機能も付加可能です。

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  マグネットコンベヤ

  マグネットによる非接触型の駆動伝達方式を採用、発塵を極力抑えた仕様で、クリーンルーム内の搬送にも採用されています。ガラス搬送用例です。

　
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  エア浮上コンベヤ

  大板ガラス全体をエアにより浮上させ両サイドのホイールにより推進させます。浮上により、ガラス搬送時に機器との接触を極力避けることができ、製品品質の向上につながります。
  ●高速搬送に対応：max 600mm/sec

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  電池搬送ライン

  コンベヤ・シザーリフト・ターンテーブル・ダイバータなど、搬送要素技術を活用したクリーンドライ環境内搬送設備例。ワークを各プロセス装置に対しインライン供給する搬送レイアウトを実現しています。ドライ環境ブースも対応可能です。

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  X・Y ステージ

  XY精密位置決めステージ機構＋レーザーマーカ＋制御技術の組み合わせによりガラス基板にID No.(英数字)及び2次元コードを印字する装置です。印字結果を画像認識し印字品質の判定を行う検査機能も兼ね備えています。印字されたワークをロボットで次工程に搬送することも可能です。

その他納入実績例

・ハードディスク生産ライン内搬送システム
・液晶パネル製造ライン搬送システム
・有機ELパネル製造ライン搬送システム
・有機EL製造ライン内メタルマスク搬送システム
・半導体フォトマスク製造ライン内搬送システム
・二次電池製造ライン内搬送システム